延べ床面積約1.8㎡…東京エレクトロンが熊本に物流棟、開発・生産を加速 - ニュースイッチ

取得した土地のうち物流棟以外の用途は未定。 東京エレクトロン九州では２５年に開発棟を新設し、次世代露光装置として期待される高ＮＡ（開口数）極端紫外線関連キーワードはありません