東京エレクトロンが熊本県合志市の半導体製造装置の開発・生産拠点を拡充 - Yahoo!ニュース

物流棟は２階建て（延べ床面積１万８０００平方メートル）で、製造用の部品や完成した製品の保管などに活用する。 東京エレクトロンは同じ拠点で昨年１０月、新たな開発棟関連キーワードはありません